± 0.2 मिलियन की स्थिर अल्ट्रा-फाइन लाइन चौड़ाई और रिक्ति नियंत्रण प्राप्त करने के लिए, सामग्री चयन, कोर प्रौद्योगिकी, उपकरण सटीकता और पर्यावरण नियंत्रण की पूरी प्रक्रिया से एक बंद-लूप नियंत्रण प्रणाली स्थापित करने की आवश्यकता है। निम्नलिखित व्यवहार्य तकनीकी मार्ग हैं:
सामग्री स्रोत परिशुद्धता नियंत्रण
सब्सट्रेट चयन: बेहद कम थर्मल विस्तार गुणांक वाले सिरेमिक सब्सट्रेट्स या संशोधित पॉलिमर सब्सट्रेट्स को प्राथमिकता दी जाती है, और तापमान में उतार-चढ़ाव के कारण लाइन स्ट्रेचिंग / सिकुड़न से बचने के लिए प्रसंस्करण के दौरान थर्मल विरूपण को 0.1 मिलियन के भीतर नियंत्रित किया जाता है।
कार्यात्मक सामग्री स्क्रीनिंग: फोटोरेसिस्ट की चिपचिपाहट और फोटोसेंसिटिव संवेदनशीलता की स्थिरता को सख्ती से नियंत्रित करें। प्रवाहकीय पेस्ट के कण आकार को माइक्रोमीटर स्तर पर नियंत्रित किया जाता है ताकि कोटिंग की एक समान मोटाई सुनिश्चित हो सके और मुद्रित लाइनों के किनारों पर कोई गड़गड़ाहट न हो।
भंडारण और उपयोग तंत्र: सामग्री भंडारण वातावरण निरंतर तापमान और आर्द्रता है, और फोटोरेसिस्ट नमी अवशोषण और घोल प्रदर्शन में गिरावट के कारण आकार विचलन से बचने के लिए पहले अंदर, पहले बाहर नियम लागू किया जाता है।
कोर लिथोग्राफी प्रक्रिया का उन्नयन
एलडीआई लेजर प्रत्यक्ष इमेजिंग तकनीक को अपनाना: पारंपरिक फिल्म एक्सपोजर की विकृति और संरेखण विचलन समस्याओं को पूरी तरह से समाप्त करना, ± 0.01 मिमी (लगभग ± 0.4 मिलियन) के भीतर एक्सपोजर स्थिति सटीकता में सुधार करना, जो ± 0.2 मिलियन नियंत्रण प्राप्त करने के लिए मूल शर्त है।
सटीक एक्सपोज़र पैरामीटर बंद-लूप नियंत्रण: एक्सपोज़र ऊर्जा को 120-150mJ/cm² की सीमा के भीतर स्थिर करें, 2-3मिलिट्री अल्ट्रा फाइन लाइनों के लिए मापदंडों को गतिशील रूप से समायोजित करें, एक्सपोज़र समय को 15% तक बढ़ाएं जबकि एक्सपोज़र ऊर्जा को 5-8% तक कम करें, लाइन किनारों के अत्यधिक जमने के कारण लाइन की चौड़ाई के विस्तार से बचें।
एक्सपोज़र से पहले सब्सट्रेट का प्रीहीटिंग: बाद की एक्सपोज़र प्रक्रियाओं में थर्मल विस्तार और संकुचन विरूपण के हस्तक्षेप को पूरी तरह से खत्म करने के लिए सब्सट्रेट तापमान को प्रक्रिया निर्धारित मूल्य पर पहले से स्थिर करें।
नक़्क़ाशी प्रक्रिया सटीकता का अनुकूलन
एक समग्र परिशुद्धता नक़्क़ाशी योजना को अपनाना: "लेजर नक़्क़ाशी + सूखी प्लाज्मा नक़्क़ाशी" प्रक्रिया के संयोजन को प्राथमिकता देना, पारंपरिक गीली नक़्क़ाशी की साइड नक़्क़ाशी की समस्या को लगभग समाप्त करना, और लाइन चौड़ाई सटीकता को ± 0.003 मिमी (लगभग ± 0.12 मिलियन) तक लॉक करना, ± 0.2 मिलियन की सहनशीलता की आवश्यकता को पूरा करना।
नक़्क़ाशी मापदंडों का बंद लूप नियंत्रण: अम्लीय तांबा क्लोराइड नक़्क़ाशी समाधान में तांबे के आयनों की एकाग्रता को 18-22 ग्राम / एल पर सख्ती से नियंत्रित किया जाता है, तापमान 35-40 डिग्री पर स्थिर होता है, और स्थानीय ओवर नक़्क़ाशी / अवशिष्ट तांबे के बिना लाइनों की साइड की दीवारों की एक समान नक़्क़ाशी सुनिश्चित करने के लिए पारंपरिक प्रक्रियाओं की तुलना में स्प्रे दबाव 10% बढ़ जाता है।
प्री लाइन चौड़ाई मुआवजा: मापे गए नक़्क़ाशी कारक (5:1 से अधिक या उसके बराबर) के आधार पर, नक़्क़ाशी प्रक्रिया के दौरान छोटी लाइन चौड़ाई के नुकसान की भरपाई के लिए डिज़ाइन चरण के दौरान लगभग 0.6 मिलियन की लाइन चौड़ाई मुआवजा राशि अग्रिम रूप से आरक्षित की जाती है।
उपकरण और परीक्षण प्रणाली का समर्थन
उच्च परिशुद्धता मोशन पोजिशनिंग सिस्टम: एक लीनियर मोटर + ग्रेटिंग रूलर पूर्ण फीडबैक आर्किटेक्चर को अपनाना, नैनोमीटर स्तर मोशन पोजिशनिंग सुधार प्राप्त करना, और 0.1 मिलियन के भीतर उपकरण की यांत्रिक गति त्रुटि को नियंत्रित करना।
ऑनलाइन वास्तविक समय पहचान तंत्र: प्रसंस्करण के बाद प्रत्येक बोर्ड की लाइन की चौड़ाई और रिक्ति का तुरंत निरीक्षण करने के लिए लेजर कैलीपर्स और उच्च आवर्धन ऑप्टिकल डिटेक्शन सिस्टम तैनात करें। यदि विचलन सीमा से अधिक हो जाता है, तो एक अलर्ट चालू हो जाएगा और बैच दोषों से बचने के लिए उत्पादन निलंबित कर दिया जाएगा।
उपकरण कठोरता अनुकूलन: मुख्य गतिशील हिस्से उच्च कठोरता वाली सामग्रियों से बने होते हैं, जो पूरी प्रक्रिया में बाहरी कंपन हस्तक्षेप को अलग करते हैं और कंपन के कारण होने वाले स्थिति विचलन को रोकते हैं।
अति स्वच्छ वातावरण का पूर्ण आयामी नियंत्रण
निरंतर तापमान और आर्द्रता कार्यशाला: ± 0.5 डिग्री के भीतर प्रसंस्करण क्षेत्र में तापमान में उतार-चढ़ाव को नियंत्रित करें, आर्द्रता को 40% -60% पर स्थिर करें, और पर्यावरणीय तापमान और आर्द्रता परिवर्तनों के कारण उपकरण थर्मल विरूपण और फोटोरेसिस्ट प्रदर्शन भिन्नता को खत्म करें।
100 स्तर की सफाई नियंत्रण: कोर प्रक्रिया कार्यशाला 100 स्तर की सफाई मानक को पूरा करती है, हवा में धूल के कणों को पूरी तरह से फ़िल्टर करती है, और धूल को सब्सट्रेट की सतह पर चिपकने से रोकती है, जिससे लाइन में दोष और उभार होता है, और लाइन की चौड़ाई और रिक्ति की स्थिरता को नुकसान पहुंचता है।